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適用于晶圓切割的劃片氣浮主軸

分類：

氣浮軸承

關(guān)鍵詞：

崇德科技

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產(chǎn)品詳情

  • 最高轉(zhuǎn)速60000rpm。
  • 采用高性能空氣靜壓軸承支撐，具有極高的動(dòng)態(tài)回轉(zhuǎn)精度。軸芯回轉(zhuǎn)精度小于 1um，刀座定位精度小于1um。
  • 三相交流永磁同步電機(jī)(直流無刷)驅(qū)動(dòng)，軸身震動(dòng)速度0.3mm/s。
  • 主軸配有氣動(dòng)鎖軸功能，更換砂輪片操作方便。
  • 主軸采用吊裝方式，適合于6寸晶圓劃切機(jī)。
  • 主軸配有和軸芯實(shí)時(shí)導(dǎo)通的信號(hào)輸出，可匹配設(shè)備測高系統(tǒng)要求。

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